Os sistemas de refrixeración de nitróxeno líquido son amplamente utilizados na industria de semicondutores e chips, incluíndo o proceso de,
- A tecnoloxía de epitaxia de feixe molecular (MBE)
- Proba do chip despois do paquete COB
Produtos relacionados
Serie de tubos illados ao baleiro
Serie de mangueiras flexibles illadas ao baleiro
Sistema dinámico de bomba de baleiro
Serie de separadores de fase illados ao baleiro
Serie de válvulas illadas ao baleiro
Equipos de apoio ao sistema de tuberías
EPITAXIA DE FAIS MOLECULAR
A tecnoloxía de epitaxia de feixe molecular (MBE) foi desenvolvida na década de 1950 para preparar materiais de película delgada semicondutores mediante a tecnoloxía de evaporación ao baleiro.Co desenvolvemento da tecnoloxía de baleiro ultra-alto, a aplicación da tecnoloxía estendeuse ao campo da ciencia dos semicondutores.
HL observou a demanda do sistema de refrixeración de nitróxeno líquido MBE, unha columna vertebral técnica organizada para desenvolver con éxito un sistema especial de enfriamento de nitróxeno líquido MBE para a tecnoloxía MBE e un conxunto completo de sistema de tubaxe illado ao baleiro, que se utilizou en moitas empresas, universidades e institutos de investigación. .
Os problemas comúns da industria de semicondutores e chips inclúen,
- A presión do nitróxeno líquido no equipamento terminal (MBE).Evitar a sobrecarga de presión de danar o equipo terminal (MBE).
- Múltiples controis de entrada e saída de líquido crioxénico
- A temperatura do nitróxeno líquido nos equipos terminais
- Unha cantidade razoable de emisións de gases crioxénicos
- Cambio (automático) de liñas principais e ramais
- Axuste de presión (redución) e estabilidade de VIP
- Limpar as posibles impurezas e residuos de xeo do tanque
- Tempo de recheo do equipo de líquido terminal
- Preenfriamento de tuberías
- Resistencia a líquidos en sistema VIP
- Controlar a perda de nitróxeno líquido durante o servizo discontinuo do sistema
O tubo illado ao baleiro (VIP) de HL está construído segundo o código de tuberías de presión ASME B31.3 como estándar.Experiencia en enxeñería e capacidade de control de calidade para garantir a eficiencia e a rendibilidade da planta do cliente.
SOLUCIÓNS
HL Cryogenic Equipment ofrece aos clientes o sistema de tubos illados ao baleiro para cumprir cos requisitos e condicións da industria de semicondutores e chips:
1.Sistema de xestión da calidade: Código de tuberías de presión ASME B31.3.
2.Un separador de fase especial con entrada e saída de líquido crioxénico múltiple con función de control automático cumpre o requisito de emisión de gases, nitróxeno líquido reciclado e temperatura do nitróxeno líquido.
3.O deseño de escape adecuado e oportuno garante que o equipo terminal sempre funcione dentro do valor de presión deseñado.
4.A Barreira Gas-líquido colócase no tubo vertical VI ao final do gasoduto VI.A barreira gas-líquido usa o principio de selado de gas para bloquear a calor desde o final da canalización VI ata a tubería VI e reducir eficazmente a perda de nitróxeno líquido durante o servizo descontinuo e intermitente do sistema.
5.VI Tuberías controladas pola serie de válvulas illadas ao baleiro (VIV): incluídas a válvula de peche illada ao baleiro (pneumática), a válvula de retención illada ao baleiro, a válvula reguladora illada ao baleiro, etc. Pódense combinar varios tipos de VIV para controlar o VIP como necesario.VIV está integrado coa prefabricación VIP no fabricante, sen tratamento illado no lugar.A unidade de selado de VIV pódese substituír facilmente.(HL acepta a marca de válvulas crioxénicas designada polos clientes e despois fabrica válvulas illadas ao baleiro por parte de HL. É posible que algunhas marcas e modelos de válvulas non poidan converterse en válvulas illadas ao baleiro).
6.Limpeza, se hai requisitos adicionais para a limpeza da superficie do tubo interior.Suxírese que os clientes elixan tubos de aceiro inoxidable BA ou EP como tubos interiores VIP para reducir aínda máis o vertido de aceiro inoxidable.
7.Filtro illado ao baleiro: limpa as posibles impurezas e os residuos de xeo do tanque.
8.Despois duns días ou máis tempo de parada ou mantemento, é moi necesario arrefriar previamente a tubería VI e o equipo terminal antes de ingresar o líquido crioxénico, para evitar a escoria de xeo despois de que o líquido crioxénico entre directamente na tubería VI e no equipo terminal.A función de pre-refrixeración debe considerarse no deseño.Proporciona unha mellor protección para os equipos terminais e os equipos de apoio á tubaxe VI, como as válvulas.
9.Traxe para o sistema de tubaxes (flexible) illado ao baleiro dinámico e estático.
10.Sistema de tubaxes illados ao baleiro dinámicos (flexibles): consisten en mangueiras flexibles VI e/ou tubos VI, mangueiras de puente, sistema de válvulas illadas ao baleiro, separadores de fase e sistema de bombas de baleiro dinámicas (incluíndo as bombas de baleiro, válvulas solenoides e medidores de baleiro, etc.). ).A lonxitude da mangueira flexible VI individual pódese personalizar segundo os requisitos do usuario.
11.Varios tipos de conexión: pódese seleccionar o tipo de conexión de baioneta ao baleiro (VBC) e a conexión soldada.O tipo VBC non precisa de tratamento illado no lugar.