Os sistemas de refrixeración de nitróxeno líquidos son amplamente utilizados na industria de semiconductores e chip, incluído o proceso de,
- A tecnoloxía da epitaxia de feixe molecular (MBE)
- A proba do chip despois do paquete de COB
Produtos relacionados
Serie de tubos illados ao baleiro
Serie de mangueira flexible illada ao baleiro
Sistema de bomba de baleiro dinámico
Serie de separador de fase illada ao baleiro
Serie de válvulas illadas ao baleiro
Equipos de soporte do sistema de canalizacións
Epitaxia de feixe molecular
A tecnoloxía da epitaxia de feixe molecular (MBE) foi desenvolvida na década dos cincuenta para preparar materiais de película fina de semiconductores mediante tecnoloxía de evaporación ao baleiro. Co desenvolvemento da tecnoloxía de baleiro ultra-alto, a aplicación da tecnoloxía estendeuse ao campo da ciencia dos semiconductores.
HL notou a demanda do sistema de refrixeración de nitróxeno líquido MBE, unha columna vertebral técnica organizada para desenvolver con éxito un sistema especial de cooperación de nitróxeno líquido MBE para a tecnoloxía MBE e un conxunto completo de canalizacións illadas ao baleiro, que se usou en moitas empresas, universidades e institutos de investigación .
Os problemas comúns da industria de semiconductores e chip inclúen,
- A presión do nitróxeno líquido en equipos terminais (MBE). Evitar a sobrecarga de presión que dane os equipos do terminal (MBE).
- Controis de entrada e saída de líquidos múltiples criogénicos
- A temperatura do nitróxeno líquido en equipos terminais
- Unha cantidade razoable de emisións de gas criogénico
- (Automático) Cambio das liñas principais e das ramas
- Axuste da presión (redución) e estabilidade do VIP
- Limpar as posibles impurezas e residuos de xeo do tanque
- Tempo de recheo do equipo líquido terminal
- Pipeline Precooling
- Resistencia ao líquido no sistema VIP
- Pérdida de control de nitróxeno líquido durante o servizo discontinuo do sistema
O tubo illado de baleiro de HL (VIP) está construído no código de canalización de presión ASME B31.3 como estándar. Experiencia de enxeñaría e capacidade de control de calidade para garantir a eficiencia e a rendibilidade da planta do cliente.
Solucións
Os equipos criogénicos HL proporcionan aos clientes o sistema de canalización illada ao baleiro para satisfacer os requisitos e condicións da industria de semiconductores e chip:
1. Sistema de xestión de calidade: Código de canalización ASME B31.3.
2. Un separador de fase especial con múltiple entrada de líquido criogénico e saída con función de control automático cumpre o requisito de emisión de gas, nitróxeno líquido reciclado e temperatura do nitróxeno líquido.
3. O deseño de escape adecuado e oportuno asegura que o equipo terminal sempre funciona dentro do valor da presión deseñado.
4. A barreira de gas-líquido sitúase no tubo vertical VI ao final do gasoduto VI. A barreira de gas-líquido usa o principio de selo de gas para bloquear a calor desde o final do gasoduto VI na canalización VI e reducir efectivamente a perda de nitróxeno líquido durante o servizo discontinuo e intermitente do sistema.
5.VI Tubendo controlado pola válvula illada de baleiro (VIV) Serie: incluíndo a válvula de apagado illada illada ao baleiro (pneumática), válvula de verificación illada ao baleiro, válvula de regulación illada ao baleiro, etc. necesario. VIV está integrado coa prefabricación VIP no fabricante, sen tratamento illado no lugar. A unidade de selo de VIV pódese substituír facilmente. (HL acepta a marca de válvulas criogénicas designada polos clientes e, a continuación, fai que as válvulas illadas ao baleiro por HL. Algunhas marcas e modelos de válvulas é posible que non se poidan converter en válvulas illadas ao baleiro.)
6. Felicidade, se hai requisitos adicionais para a limpeza da superficie do tubo interno. Suxírese que os clientes escollan tubos de aceiro inoxidable BA ou EP como tubos internos VIP para reducir aínda máis o vertido de aceiro inoxidable.
7.Vacuum Filtro illado: limpa as posibles impurezas e os residuos de xeo do tanque.
8. Despois de poucos días ou de parada ou mantemento máis longo, é moi necesario precoar a canalización VI e o equipo terminal antes de que se introduza o líquido criogénico, para evitar a escoria de xeo despois de que o líquido criogénico entra directamente nos equipos de tubería VI e terminal. A función de precoolación debe considerarse no deseño. Ofrece unha mellor protección para equipos terminais e equipos de soporte de canalización VI como válvulas.
9. Sitio para o sistema de canalización illado ao baleiro dinámico e estático (flexible).
10. Sistema de canalización illada ao baleiro (flexible): consiste en mangueiras flexibles e/ou tubo VI, mangueiras de saltador, sistema de válvulas illadas ao baleiro, separadores de fase e sistema de bomba de baleiro dinámico (incluíndo as bombas de baleiro, as válvulas de solenoide e as calibres de baleiro, etc. ). A lonxitude da mangueira flexible VI pode personalizarse segundo os requisitos do usuario.
11. Variosos tipos de conexión: pódese seleccionar o tipo de conexión de baioneta ao baleiro (VBC) e a conexión soldada. O tipo VBC non precisa un tratamento illado no lugar.
