Os sistemas de refrixeración por nitróxeno líquido úsanse amplamente na industria de semicondutores e chips, incluído o proceso de,
- Tecnoloxía de epitaxia por feixe molecular (MBE)
- Proba do chip despois do paquete COB
Produtos relacionados
Serie de tubos illados ao baleiro
Serie de mangueiras flexibles illadas ao baleiro
Sistema de bomba de baleiro dinámica
Serie de separadores de fase illados ao baleiro
Serie de válvulas illadas ao baleiro
Equipos de apoio ao sistema de tubaxes
EPITAXIA DE FEIXE MOLECULAR
A tecnoloxía da epitaxia por feixe molecular (MBE) desenvolveuse na década de 1950 para preparar materiais de película fina semicondutores mediante tecnoloxía de evaporación ao baleiro. Co desenvolvemento da tecnoloxía de ultraalto baleiro, a aplicación da tecnoloxía estendeuse ao campo da ciencia dos semicondutores.
HL observou a demanda do sistema de refrixeración por nitróxeno líquido MBE, organizou a estrutura técnica para desenvolver con éxito un sistema especial de refrixeración por nitróxeno líquido MBE para a tecnoloxía MBE e un conxunto completo de sistemas de tubaxes illadas ao baleiro, que se utilizaron en moitas empresas, universidades e institutos de investigación.
Os problemas comúns da industria de semicondutores e chips inclúen:
- A presión do nitróxeno líquido nos equipos terminais (MBE). Evitar que a sobrecarga de presión dane os equipos terminais (MBE).
- Múltiples controis de entrada e saída de líquido crioxénico
- A temperatura do nitróxeno líquido nos equipos terminais
- Unha cantidade razoable de emisións de gases crioxénicos
- Conmutación (automática) de liñas principais e derivadas
- Axuste da presión (redución) e estabilidade do VIP
- Limpeza das posibles impurezas e residuos de xeo do tanque
- Tempo de recheo do equipo de líquido terminal
- Prearrefriamento de tubaxes
- Resistencia a líquidos no sistema VIP
- Control da perda de nitróxeno líquido durante o servizo descontinuo do sistema
A tubaxe illada ao baleiro (VIP) de HL está construída segundo o código de tubaxes a presión ASME B31.3 como estándar. A experiencia en enxeñaría e a capacidade de control de calidade garanten a eficiencia e a rendibilidade da planta do cliente.
SOLUCIÓNS
HL Cryogenic Equipment ofrece aos clientes o sistema de tubaxes illadas ao baleiro para cumprir os requisitos e as condicións da industria de semicondutores e chips:
1. Sistema de xestión da calidade: Código de tubaxes a presión ASME B31.3.
2. Un separador de fases especial con entrada e saída de líquido crioxénico múltiple con función de control automático cumpre o requisito de emisión de gases, nitróxeno líquido reciclado e temperatura do nitróxeno líquido.
3. Un deseño de escape axeitado e oportuno garante que o equipo terminal sempre funcione dentro do valor de presión deseñado.
4. A barreira gas-líquido colócase na tubaxe VI vertical ao final da tubaxe VI. A barreira gas-líquido usa o principio de selado de gas para bloquear a calor desde o final da tubaxe VI cara á tubaxe VI e reducir eficazmente a perda de nitróxeno líquido durante o servizo descontinuo e intermitente do sistema.
5. Tubaxe VI controlada pola serie de válvulas illadas ao baleiro (VIV): Inclúe válvulas de peche illadas ao baleiro (pneumáticas), válvulas de retención illadas ao baleiro, válvulas reguladoras illadas ao baleiro, etc. Pódense combinar modularmente varios tipos de VIV para controlar a VIP segundo sexa necesario. A VIV está integrada coa prefabricación VIP no fabricante, sen tratamento de illamento in situ. A unidade de selado da VIV pódese substituír facilmente. (HL acepta a marca de válvulas crioxénicas designada polos clientes e, a continuación, fabrica válvulas illadas ao baleiro por HL. É posible que algunhas marcas e modelos de válvulas non se poidan converter en válvulas illadas ao baleiro).
6. Limpeza, se existen requisitos adicionais para a limpeza da superficie do tubo interior. Recoméndase que os clientes escollan tubos de aceiro inoxidable BA ou EP como tubos interiores VIP para reducir aínda máis os derrames de aceiro inoxidable.
7. Filtro illado ao baleiro: limpa as posibles impurezas e residuos de xeo do tanque.
8. Despois duns días ou máis de parada ou mantemento, é moi necesario prearrefriar a tubaxe VI e o equipo terminal antes de que entre líquido crioxénico, para evitar a formación de escoria de xeo despois de que o líquido crioxénico entre directamente na tubaxe VI e no equipo terminal. A función de prearrefriar debe considerarse no deseño. Proporciona unha mellor protección para o equipo terminal e o equipo de soporte da tubaxe VI, como as válvulas.
9. Apto para sistemas de tubaxes illadas ao baleiro (flexibles) tanto dinámicas como estáticas.
10. Sistema de tubaxes (flexibles) con illamento dinámico ao baleiro: consta de mangueiras flexibles VI e/ou tubo VI, mangueiras de ponte, sistema de válvulas con illamento ao baleiro, separadores de fase e sistema de bombas de baleiro dinámicas (incluíndo as bombas de baleiro, as válvulas solenoides e os vacuómetros, etc.). A lonxitude dunha soa mangueira flexible VI pódese personalizar segundo os requisitos do usuario.
11. Varios tipos de conexión: Pódese seleccionar o tipo de conexión de baioneta de baleiro (VBC) e a conexión soldada. O tipo VBC non precisa tratamento de illamento in situ.
