O proxecto Chip MBE rematou nos últimos anos

Tecnoloxía

A epitaxia de feixe molecular, ou MBE, é unha nova técnica para cultivar películas finas de cristais de alta calidade en substratos de cristal. En condicións de baleiro ultra-alto, pola estufa de calefacción está equipada con todo tipo de compoñentes necesarios e xeran vapor, a través de buracos formados despois de colimentar o feixe atómico ou o raio molecular, a inxección directa á temperatura adecuada do substrato de cristal único, controlando o feixe molecular para a un feixe molecular para a un feixe molecular a para A dixitalización do substrato ao mesmo tempo, pode facer que as moléculas ou átomos nas capas de aliñamento de cristal formen unha película fina nun substrato "crecemento".

Para o funcionamento normal dos equipos de MBE, é necesario transportarse de xeito continuo e estable o nitróxeno líquido ultra-limpo para a cámara de refrixeración do equipo. En xeral, un tanque que proporciona nitróxeno líquido ten unha presión de saída entre 0,3MPA e 0,8MPA.LITROGENELIDO A -196 ℃ é facilmente vaporizado en nitróxeno durante o transporte de gasoductos. Unha vez que o nitróxeno líquido cunha relación gas-líquido de aproximadamente 1: 700 gasa no gasoduto, ocupará unha gran cantidade de espazo de fluxo de nitróxeno líquido e reducirá o fluxo normal ao final do gasoduto líquido. Ademais, no tanque de almacenamento de nitróxeno líquido, é probable que haxa restos que non se limparon. No gasoduto líquido de nitróxeno, a existencia de aire húmido tamén levará á xeración de escoria de xeo. Se estas impurezas son descargadas no equipo, causará danos imprevisibles no equipo.

Polo tanto, o nitróxeno líquido no tanque de almacenamento ao aire libre é transportado ao equipo MBE no taller sen po con alta eficiencia, estabilidade e limpo, e a baixa presión, sen nitróxeno, sen impurezas, 24 horas ininterrompidas, este sistema de control de transporte é está un produto cualificado.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Equipos MBE correspondentes

Dende 2005, o equipo criogénico HL (HL Cryo) foi optimizando e mellorando este sistema e cooperando cos fabricantes de equipos internacionais MBE. Os fabricantes de equipos MBE, incluído DCA, Reber, teñen relacións de cooperación coa nosa empresa. Os fabricantes de equipos MBE, incluídos DCA e Reber, cooperaron nun gran número de proxectos.

Riber SA é un dos principais provedores mundiais de produtos epitaxi de feixe molecular (MBE) e servizos relacionados para investigacións de semiconductores compostos e aplicacións industriais. O dispositivo MBE RIBER pode depositar capas de material moi finas no substrato, con controis moi altos. O equipo de baleiro de equipos criogénicos HL (HL Cryo) está equipado con Riber SA O equipo máis grande é Riber 6000 e o máis pequeno é compacto 21. Está en bo estado e foi recoñecido polos clientes.

DCA é o óxido principal do mundo MBE. Desde 1993, realizouse o desenvolvemento sistemático de técnicas de oxidación, calefacción antioxidante e fontes antioxidantes. Por este motivo, moitos laboratorios líderes escolleron a tecnoloxía de óxido DCA. Os sistemas MBE de semiconductores compostos úsanse en todo o mundo. O sistema circulante de nitróxeno líquido VJ de equipos criogénicos HL (HL Cryo) e os equipos MBE de múltiples modelos de DCA teñen a experiencia correspondente en moitos proxectos, como o modelo P600, R450, SGC800, etc.

TCM (2)

Táboa de rendemento

Instituto de Física Técnica de Shanghai, Academia Chinesa de Ciencias
O 11º Instituto de China Electronics Technology Corporation
Instituto de Semiconductores, Academia Chinesa de Ciencias
Huawei
Alibaba Damo Academia
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Fotónica de Suzhou Everbright

Tempo de publicación: maio-26-2021

Deixa a túa mensaxe