O proxecto Chip MBE completouse nos últimos anos

Tecnoloxía

A epitaxia de feixe molecular, ou MBE, é unha nova técnica para cultivar películas finas de cristais de alta calidade sobre substratos de cristal.En condicións de baleiro ultra-alto, a estufa de calefacción está equipada con todo tipo de compoñentes necesarios e xera vapor, a través dos buratos formados despois da colimación do feixe atómico ou molecular, inxección directa á temperatura adecuada do substrato monocristal, controlando o feixe molecular para explorando o substrato ao mesmo tempo, pode facer que as moléculas ou átomos en capas de aliñamento de cristal formen unha película delgada nun "crecemento" do substrato.

Para o funcionamento normal dos equipos MBE, é necesario transportar de forma continua e estable o nitróxeno líquido de alta pureza, baixa presión e ultralimpo á cámara de refrixeración do equipo.En xeral, un tanque que proporciona nitróxeno líquido ten unha presión de saída entre 0,3 MPa e 0,8 MPa. O nitróxeno líquido a -196 ℃ é facilmente vaporizado en nitróxeno durante o transporte por canalización.Unha vez que o nitróxeno líquido cunha relación gas-líquido de aproximadamente 1:700 sexa gasificado na canalización, ocupará unha gran cantidade de espazo de fluxo de nitróxeno líquido e reducirá o fluxo normal ao final da canalización de nitróxeno líquido.Ademais, no depósito de almacenamento de nitróxeno líquido, é probable que haxa restos que non foron limpos.Na canalización de nitróxeno líquido, a existencia de aire húmido tamén levará á xeración de escouras de xeo.Se estas impurezas son descargadas no equipo, causará danos imprevisibles no equipo.

Polo tanto, o nitróxeno líquido no tanque de almacenamento ao aire libre transpórtase ao equipo MBE no taller sen po con alta eficiencia, estabilidade e limpeza, e a baixa presión, sen nitróxeno, sen impurezas, 24 horas ininterrompidas, este sistema de control de transporte é un produto cualificado.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Equipos MBE coincidentes

Desde 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) foi optimizando e mellorando este sistema e colaborando cos fabricantes internacionais de equipos MBE.Os fabricantes de equipos MBE, incluíndo DCA, REBER, teñen relacións de cooperación coa nosa empresa.Os fabricantes de equipos MBE, incluíndo DCA e REBER, colaboraron nun gran número de proxectos.

Riber SA é un provedor global líder de produtos de epitaxia de feixe molecular (MBE) e servizos relacionados para a investigación de semicondutores compostos e aplicacións industriais.O dispositivo Riber MBE pode depositar capas moi finas de material sobre o substrato, con controis moi altos.O equipo de baleiro de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) está equipado con Riber SA. O equipo máis grande é o Riber 6000 e o máis pequeno Compact 21. Está en bo estado e foi recoñecido polos clientes.

DCA é o MBE de óxido líder do mundo.Desde 1993 realizouse un desenvolvemento sistemático de técnicas de oxidación, quecemento de substratos antioxidantes e fontes antioxidantes.Por este motivo, moitos laboratorios líderes escolleron a tecnoloxía de óxidos DCA.Os sistemas MBE de semicondutores compostos úsanse en todo o mundo.O sistema de circulación de nitróxeno líquido VJ de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) e os equipos MBE de varios modelos de DCA teñen a experiencia correspondente en moitos proxectos, como o modelo P600, R450, SGC800, etc.

tcm (2)

Táboa de rendemento

Instituto de Física Técnica de Shanghai, Academia Chinesa de Ciencias
O 11th Institute of China Electronics Technology Corporation
Instituto de Semicondutores, Academia Chinesa de Ciencias
Huawei
Academia Alibaba DAMO
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Hora de publicación: 26-maio-2021