Tecnoloxía
A epitaxia de feixe molecular, ou MBE, é unha nova técnica para o cultivo de películas finas de cristais de alta calidade sobre substratos de cristal. En condicións de baleiro ultra-alto, a estufa de calefacción está equipada con todo tipo de compoñentes necesarios e xera vapor, a través dos buratos formados despois da colimación do feixe atómico ou molecular, inxección directa á temperatura adecuada do substrato monocristal, controlando o feixe molecular para explorando o substrato ao mesmo tempo, pode facer que as moléculas ou átomos en capas de aliñamento de cristal formen unha película delgada nun "crecemento" do substrato.
Para o funcionamento normal dos equipos MBE, é necesario transportar de forma continua e estable o nitróxeno líquido de alta pureza, baixa presión e ultralimpo á cámara de refrixeración do equipo. En xeral, un tanque que proporciona nitróxeno líquido ten unha presión de saída entre 0,3 MPa e 0,8 MPa. O nitróxeno líquido a -196 ℃ é facilmente vaporizado en nitróxeno durante o transporte por canalización. Unha vez que o nitróxeno líquido cunha relación gas-líquido de aproximadamente 1:700 sexa gasificado na canalización, ocupará unha gran cantidade de espazo de fluxo de nitróxeno líquido e reducirá o fluxo normal ao final da canalización de nitróxeno líquido. Ademais, no depósito de almacenamento de nitróxeno líquido, é probable que haxa restos que non foron limpos. Na canalización de nitróxeno líquido, a existencia de aire húmido tamén provocará a xeración de escouras de xeo. Se estas impurezas son descargadas no equipo, causará danos imprevisibles no equipo.
Polo tanto, o nitróxeno líquido no tanque de almacenamento ao aire libre transpórtase ao equipo MBE no taller sen po con alta eficiencia, estabilidade e limpeza, e a baixa presión, sen nitróxeno, sen impurezas, 24 horas ininterrompidas, este sistema de control de transporte é un produto cualificado.
Equipos MBE coincidentes
Desde 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) foi optimizando e mellorando este sistema e colaborando cos fabricantes internacionais de equipos MBE. Os fabricantes de equipos MBE, incluíndo DCA, REBER, teñen relacións de cooperación coa nosa empresa. Os fabricantes de equipos MBE, incluíndo DCA e REBER, colaboraron nun gran número de proxectos.
Riber SA é un provedor global líder de produtos de epitaxia de feixe molecular (MBE) e servizos relacionados para a investigación de semicondutores compostos e aplicacións industriais. O dispositivo Riber MBE pode depositar capas moi finas de material sobre o substrato, con controis moi altos. O equipo de baleiro de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) está equipado con Riber SA. O equipo máis grande é o Riber 6000 e o máis pequeno Compact 21. Está en bo estado e foi recoñecido polos clientes.
DCA é o MBE de óxido líder do mundo. Desde 1993, realizouse un desenvolvemento sistemático de técnicas de oxidación, quecemento de substratos antioxidantes e fontes antioxidantes. Por este motivo, moitos laboratorios líderes escolleron a tecnoloxía de óxidos DCA. Os sistemas MBE de semicondutores compostos utilízanse en todo o mundo. O sistema de circulación de nitróxeno líquido VJ de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) e os equipos MBE de varios modelos de DCA teñen a experiencia correspondente en moitos proxectos, como o modelo P600, R450, SGC800, etc.
Táboa de rendemento
Instituto de Física Técnica de Shanghai, Academia Chinesa de Ciencias |
O 11th Institute of China Electronics Technology Corporation |
Instituto de Semicondutores, Academia Chinesa de Ciencias |
Huawei |
Academia Alibaba DAMO |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Hora de publicación: 26-maio-2021