Breve de epitaxia de feixe molecular (MBE)
A tecnoloxía da epitaxia de feixe molecular (MBE) foi desenvolvida na década dos cincuenta para preparar materiais de película fina de semiconductores mediante tecnoloxía de evaporación ao baleiro. Co desenvolvemento da tecnoloxía de baleiro ultra-alto, a aplicación da tecnoloxía estendeuse ao campo da ciencia dos semiconductores.
A motivación da investigación de materiais de semiconductores é a demanda de novos dispositivos, que poden mellorar o rendemento do sistema. Á súa vez, a nova tecnoloxía de material pode producir novos equipos e novas tecnoloxías. A epitaxia de feixe molecular (MBE) é unha alta tecnoloxía de baleiro para o crecemento da capa epitaxial (normalmente semiconductor). Emprega o feixe de calor dos átomos de fonte ou moléculas que afectan ao substrato de cristal único. As características de baleiro ultra-alto do proceso permiten a metalización e o crecemento in situ de materiais illantes en superficies de semiconductores recentemente cultivados, obtendo interfaces libres de contaminación.
Tecnoloxía MBE
A epitaxia de feixe molecular realizouse nun baleiro alto ou un baleiro ultra-alto (1 x 10-8Pa) ambiente. O aspecto máis importante da epitaxia de feixe molecular é a súa baixa taxa de deposición, o que normalmente permite que a película poida crecer epitaxial a un ritmo inferior a 3000 nm por hora. Unha taxa de deposición tan baixa require un baleiro suficientemente alto para alcanzar o mesmo nivel de limpeza que outros métodos de deposición.
Para cumprir o baleiro ultra-alto descrito anteriormente, o dispositivo MBE （Cell Cell） ten unha capa de refrixeración e o ambiente de baleiro ultra-alto da cámara de crecemento debe manterse mediante un sistema de circulación de nitróxeno líquido. O nitróxeno líquido arrefría a temperatura interna do dispositivo a 77 kelvin (−196 ° C). O ambiente de baixa temperatura pode reducir aínda máis o contido das impurezas ao baleiro e proporcionar mellores condicións para a deposición de películas finas. Polo tanto, é necesario un sistema dedicado de circulación de nitróxeno líquido para os equipos MBE para proporcionar un subministro continuo e constante de nitróxeno líquido de -196 ° C.
Sistema de circulación de refrixeración de nitróxeno líquido
O sistema de circulación de refrixeración de nitróxeno líquido ao baleiro inclúe principalmente,
● Tanque criogénico
● Mangueira de chaqueta de chaqueta de baleiro principal e rama
● MBE separador de fase especial e tubo de escape de chaqueta de baleiro
● Varias válvulas chaquetadas ao baleiro
● Barreira de gas-líquido
● Filtro de chaqueta de baleiro
● Sistema de bomba de baleiro dinámico
● Precooling e purgar o sistema de recalentamento
A compañía de equipos criogénicos de HL notou a demanda do sistema de refrixeración de nitróxeno líquido MBE, unha columna vertebral técnica organizada para desenvolver con éxito un sistema especial de COOing de nitróxeno líquido MBE para a tecnoloxía MBE e un conxunto completo de insulato ao baleiroedSistema de canalización, que se empregou en moitas empresas, universidades e institutos de investigación.
Equipos criogénicos HL
O equipo criogénico HL que foi fundado en 1992 é unha marca afiliada á Chengdu Holy Cryogénico Equipment Company en China. Os equipos criogénicos HL están comprometidos co deseño e fabricación do sistema de canalización criogénica illada ao baleiro e equipos de soporte relacionados.
Para máis información, visite o sitio web oficialwww.hlcryo.com, ou correo electrónico ainfo@cdholy.com.
Tempo de publicación: maio-06-2021
