Breve de epitaxia de feixe molecular (MBE)
A tecnoloxía de epitaxia de feixe molecular (MBE) foi desenvolvida na década de 1950 para preparar materiais de película delgada semicondutores mediante a tecnoloxía de evaporación ao baleiro. Co desenvolvemento da tecnoloxía de baleiro ultra-alto, a aplicación da tecnoloxía estendeuse ao campo da ciencia dos semicondutores.
A motivación da investigación de materiais semicondutores é a demanda de novos dispositivos, que poden mellorar o rendemento do sistema. Pola súa banda, a nova tecnoloxía de materiais pode producir novos equipos e novas tecnoloxías. A epitaxia de feixe molecular (MBE) é unha tecnoloxía de alto baleiro para o crecemento da capa epitaxial (xeralmente semicondutora). Utiliza o feixe de calor dos átomos ou moléculas fonte que afectan o substrato monocristal. As características de baleiro ultra-alto do proceso permiten a metalización in situ e o crecemento de materiais illantes en superficies de semicondutores recentemente cultivadas, o que resulta en interfaces libres de contaminación.
Tecnoloxía MBE
A epitaxia do feixe molecular realizouse nun baleiro alto ou ultra alto (1 x 10-8Pa) ambiente. O aspecto máis importante da epitaxia do feixe molecular é a súa baixa taxa de deposición, que normalmente permite que a película creza epitaxialmente a unha velocidade inferior a 3000 nm por hora. Unha taxa de deposición tan baixa require un baleiro suficientemente alto para acadar o mesmo nivel de limpeza que outros métodos de deposición.
Para satisfacer o baleiro ultra alto descrito anteriormente, o dispositivo MBE (célula Knudsen) ten unha capa de refrixeración e o ambiente de baleiro ultra alto da cámara de crecemento debe manterse mediante un sistema de circulación de nitróxeno líquido. O nitróxeno líquido arrefría a temperatura interna do dispositivo ata 77 Kelvin (−196 °C). O ambiente de baixa temperatura pode reducir aínda máis o contido de impurezas no baleiro e proporcionar mellores condicións para a deposición de películas finas. Polo tanto, é necesario un sistema de circulación de refrixeración de nitróxeno líquido dedicado para que o equipo MBE proporcione un subministro continuo e constante de nitróxeno líquido a -196 °C.
Sistema de circulación de refrixeración de nitróxeno líquido
O sistema de circulación de refrixeración de nitróxeno líquido ao baleiro inclúe principalmente,
● tanque crioxénico
● tubo principal e ramal con camisa de baleiro / mangueira con camisa de baleiro
● Separador de fases especiais MBE e tubo de escape con camisa ao baleiro
● varias válvulas con camisa de baleiro
● barreira gas-líquido
● filtro encamisado ao baleiro
● sistema de bomba de baleiro dinámica
● Sistema de prerefrixeración e requecemento de purga
HL Cryogenic Equipment Company observou a demanda do sistema de refrixeración de nitróxeno líquido MBE, unha columna vertebral técnica organizada para desenvolver con éxito un sistema especial de refrixeración de nitróxeno líquido MBE para a tecnoloxía MBE e un conxunto completo de illantes ao baleiro.edsistema de tubaxes, que se utilizou en moitas empresas, universidades e institutos de investigación.
Equipos criogénicos HL
HL Cryogenic Equipment, que foi fundada en 1992, é unha marca afiliada á Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company en China. HL Cryogenic Equipment comprométese co deseño e fabricación do sistema de tubos crioxénicos illados ao baleiro alto e equipos de apoio relacionados.
Para obter máis información, visite o sitio web oficialwww.hlcryo.com, ou correo electrónico ainfo@cdholy.com.
Hora de publicación: maio-06-2021
