Resumo da epitaxia por feixe molecular (MBE)
A tecnoloxía da epitaxia por feixe molecular (MBE) desenvolveuse na década de 1950 para preparar materiais de película fina semicondutores mediante tecnoloxía de evaporación ao baleiro. Co desenvolvemento da tecnoloxía de ultraalto baleiro, a aplicación da tecnoloxía estendeuse ao campo da ciencia dos semicondutores.
A motivación da investigación de materiais semicondutores é a demanda de novos dispositivos, que poden mellorar o rendemento do sistema. Pola súa banda, a nova tecnoloxía de materiais pode producir novos equipos e novas tecnoloxías. A epitaxia de feixe molecular (MBE) é unha tecnoloxía de alto baleiro para o crecemento de capas epitaxiales (xeralmente semicondutoras). Emprega o feixe de calor dos átomos ou moléculas fonte que impactan no substrato monocristalino. As características de ultraalto baleiro do proceso permiten a metalización in situ e o crecemento de materiais illantes en superficies semicondutoras recentemente cultivadas, o que resulta en interfaces libres de contaminación.
Tecnoloxía MBE
A epitaxia de feixe molecular realizouse en alto baleiro ou ultraalto baleiro (1 x 10-8ambiente Pa). O aspecto máis importante da epitaxia por feixe molecular é a súa baixa taxa de deposición, que normalmente permite que a película medre epitaxialmente a unha velocidade inferior a 3000 nm por hora. Unha taxa de deposición tan baixa require un baleiro o suficientemente alto para lograr o mesmo nivel de limpeza que outros métodos de deposición.
Para cumprir co ultraalto baleiro descrito anteriormente, o dispositivo MBE (célula Knudsen) ten unha capa de refrixeración, e o ambiente de ultraalto baleiro da cámara de crecemento debe manterse mediante un sistema de circulación de nitróxeno líquido. O nitróxeno líquido arrefría a temperatura interna do dispositivo a 77 Kelvin (−196 °C). O ambiente de baixa temperatura pode reducir aínda máis o contido de impurezas no baleiro e proporcionar mellores condicións para a deposición de películas delgadas. Polo tanto, requírese un sistema de circulación de refrixeración de nitróxeno líquido dedicado para que o equipo MBE proporcione un subministro continuo e constante de nitróxeno líquido a -196 °C.
Sistema de circulación de refrixeración de nitróxeno líquido
O sistema de circulación de refrixeración por nitróxeno líquido ao baleiro inclúe principalmente,
● tanque crioxénico
● tubo principal e derivado con camisa de baleiro / mangueira con camisa de baleiro
● Separador de fases especial MBE e tubo de escape con camisa de baleiro
● varias válvulas con camisa de baleiro
● barreira gas-líquido
● filtro con camisa de baleiro
● sistema de bomba de baleiro dinámica
● Sistema de prearrefriamento e requecemento de purga
A empresa HL Cryogenic Equipment detectou a demanda do sistema de refrixeración por nitróxeno líquido MBE, organizou a columna vertebral técnica para desenvolver con éxito un sistema especial de refrixeración por nitróxeno líquido MBE para a tecnoloxía MBE e un conxunto completo de illamento ao baleiro.edsistema de tubaxes, que se emprega en moitas empresas, universidades e institutos de investigación.
Equipos crioxénicos HL
HL Cryogenic Equipment, fundada en 1992, é unha marca afiliada á empresa Chengdu Holy Cryogenic Equipment de China. HL Cryogenic Equipment dedícase ao deseño e fabricación de sistemas de tubaxes crioxénicas illadas en alto baleiro e equipos de apoio relacionados.
Para obter máis información, visite o sitio web oficialwww.hlcryo.com, ou enviar un correo electrónico ainfo@cdholy.com.
Data de publicación: 06 de maio de 2021
