Un resumo do sistema de tubaxes illadas ao baleiro na aplicación crioxénica da industria de chips

A fabricación e o deseño do sistema de tubaxes illadas ao baleiro para o transporte de nitróxeno líquido son responsabilidade do provedor. Para este proxecto, se o provedor non dispón das condicións para a medición in situ, a empresa deberá proporcionar os debuxos da dirección da tubaxe. Despois, o provedor deseñará o sistema de tubaxes illadas ao baleiro para escenarios de nitróxeno líquido.

O provedor deberá completar o deseño xeral do sistema de tubaxes por deseñadores experimentados segundo os debuxos, os parámetros do equipo, as condicións do sitio, as características do nitróxeno líquido e outros factores proporcionados polo demandante.

O contido do deseño inclúe o tipo de accesorios do sistema, a determinación do material e as especificacións das tubaxes internas e externas, o deseño do esquema de illamento, o esquema da sección prefabricada, a forma de conexión entre as seccións da tubaxe, o soporte interno da tubaxe, o número e a posición da válvula de baleiro, a eliminación do selo de gas, os requisitos de líquido crioxénico do equipo terminal, etc. Este esquema debe ser verificado polo persoal profesional do solicitante antes da fabricación.

O contido do deseño do sistema de tubaxes illadas ao baleiro é amplo, aquí para aplicacións HASS e equipos MBE en algúns problemas comúns, unha simple conversa.

1 2

Tubaxe VI

O tanque de almacenamento de nitróxeno líquido adoita ser longo, xa sexa para equipos de aplicación HASS ou MBE. Aínda que a tubaxe illada ao baleiro entra no interior do edificio, debe evitarse razoablemente segundo a distribución da sala no edificio e a localización da tubaxe de campo e do conduto de aire. Polo tanto, para transportar nitróxeno líquido ao equipo, hai que ter polo menos centos de metros de tubaxe.

Debido a que o propio nitróxeno líquido comprimido contén unha gran cantidade de gas, xunto coa distancia de transporte, mesmo a tubaxe adiabática de baleiro producirá unha gran cantidade de nitróxeno no proceso de transporte. Se o nitróxeno non se descarga ou a emisión é demasiado baixa para cumprir os requisitos, causará resistencia ao gas e levará a un fluxo deficiente de nitróxeno líquido, o que resultará nunha gran redución do caudal.

Se o caudal é insuficiente, non se pode controlar a temperatura na cámara de nitróxeno líquido do equipo, o que pode provocar danos no equipo ou na calidade do produto.

Polo tanto, é necesario calcular a cantidade de nitróxeno líquido empregado polo equipo terminal (aplicación HASS ou equipo MBE). Ao mesmo tempo, as especificacións da tubaxe determínanse tamén segundo a lonxitude e a dirección da tubaxe.

Partindo do tanque de almacenamento de nitróxeno líquido, se a tubaxe principal da tubaxe/mangueira illada ao baleiro é DN50 (diámetro interior φ50 mm), a súa tubaxe/mangueira derivada VI é DN25 (diámetro interior φ25 mm) e a mangueira entre a tubaxe derivada e o equipo terminal é DN15 (diámetro interior φ15 mm). Outros accesorios para o sistema de tubaxes VI, incluíndo separador de fases, desgasificador, purga automática de gas, válvula de peche VI/crioxénica (pneumática), válvula reguladora de fluxo pneumática VI, válvula de retención VI/crioxénica, filtro VI, válvula de alivio de seguridade, sistema de purga e bomba de baleiro, etc.

3

Separador de fase especial MBE

Cada separador de fase a presión normal especial MBE ten as seguintes funcións:

1. Sensor de nivel de líquido e sistema automático de control do nivel de líquido, e móstranse rapidamente a través dunha caixa de control eléctrica.

2. Función de redución da presión: a entrada de líquido do separador está equipada cun sistema auxiliar do separador, que garante unha presión de nitróxeno líquido de 3-4 bar na tubaxe principal. Ao entrar no separador de fases, reduza a presión de forma constante a ≤ 1 bar.

3. Regulación do fluxo de entrada de líquido: un sistema de control de flotabilidade está disposto dentro do separador de fases. A súa función é axustar automaticamente a cantidade de entrada de líquido cando o consumo de nitróxeno líquido aumenta ou diminúe. Isto ten a vantaxe de reducir a forte flutuación da presión causada pola entrada dunha gran cantidade de nitróxeno líquido cando se abre a válvula pneumática de entrada e evitar a sobrepresión.

4. Función de tampón, o volume efectivo dentro do separador garante o fluxo instantáneo máximo do dispositivo.

5. Sistema de purga: fluxo de aire e vapor de auga no separador antes da pasaxe de nitróxeno líquido e descarga de nitróxeno líquido no separador despois da pasaxe de nitróxeno líquido.

6. Función de alivio automático de sobrepresión: o equipo, ao pasar inicialmente por nitróxeno líquido ou en circunstancias especiais, provoca un aumento na gasificación do nitróxeno líquido, o que leva a unha sobrepresión instantánea de todo o sistema. O noso separador de fases está equipado cunha válvula de alivio de seguridade e un grupo de válvulas de alivio de seguridade, que poden garantir de forma máis eficaz a estabilidade da presión no separador e evitar que o equipo MBE sexa danado por unha presión excesiva.

7. Caixa de control eléctrico, visualización en tempo real do nivel de líquido e do valor da presión, pode axustar o nivel de líquido no separador e o nitróxeno líquido na relación de control da cantidade. Ao mesmo tempo. En caso de emerxencia, frear manualmente o separador de gas e líquido na válvula de control de líquido, para garantir a seguridade do persoal e dos equipos no lugar.

4

Desgasificador multinúcleo para aplicacións HASS

O tanque de almacenamento de nitróxeno líquido ao aire libre contén unha gran cantidade de nitróxeno porque se almacena e transporta baixo presión. Neste sistema, a distancia de transporte por tubaxe é maior, hai máis cóbados e unha maior resistencia, o que provocará a gasificación parcial do nitróxeno líquido. O tubo illado ao baleiro é a mellor forma de transportar nitróxeno líquido na actualidade, pero as fugas de calor son inevitables, o que tamén levará á gasificación parcial do nitróxeno líquido. En resumo, o nitróxeno líquido contén unha gran cantidade de nitróxeno, o que leva á xeración de resistencia ao gas, o que fai que o fluxo de nitróxeno líquido non sexa suave.

Se o equipo de escape está nun tubo illado ao baleiro, se non hai dispositivo de escape ou o volume de escape é insuficiente, producirase resistencia ao gas. Unha vez que se forme a resistencia ao gas, a capacidade de transporte de nitróxeno líquido reducirase considerablemente.

O desgasificador multinúcleo deseñado exclusivamente pola nosa empresa pode garantir que o nitróxeno se descargue do tubo principal de nitróxeno líquido na medida do posible e evitar a formación de resistencia ao gas. Ademais, o desgasificador multinúcleo ten un volume interno suficiente, pode desempeñar o papel de tanque de almacenamento intermedio e satisfacer eficazmente as necesidades do fluxo instantáneo máximo da tubaxe de solución.

Estrutura multinúcleo patentada única, capacidade de escape máis eficiente que os nosos outros tipos de separadores.

5
Continuando co artigo anterior, hai algunhas cuestións que cómpre ter en conta ao deseñar solucións para sistemas de tubaxes illadas ao baleiro para aplicacións crioxénicas na industria dos chips.

1

Dous tipos de sistemas de tubaxes illadas ao baleiro

Hai dous tipos de sistemas de tubaxes illadas ao baleiro: o sistema VI estático e o sistema de bombeo de baleiro dinámico.

O sistema VI estático significa que, despois de fabricar cada tubaxe na fábrica, esta é aspirada ata o grao de baleiro especificado na unidade de bombeo e selada. Na instalación no campo e na posta en funcionamento, non é necesario reevacuala ao lugar durante un certo período de tempo.

A vantaxe do sistema Static VI é o baixo custo de mantemento. Unha vez que o sistema de tubaxes está en servizo, o mantemento é necesario varios anos despois. Este sistema de baleiro é axeitado para sistemas que non requiren altos requisitos de refrixeración e espazos abertos para mantemento in situ.

A desvantaxe do sistema VI estático é que o baleiro diminúe co tempo. Debido a que todos os materiais liberan gases traza todo o tempo, o que está determinado polas propiedades físicas do material. O material na camisa do tubo VI pode reducir a cantidade de gas liberado polo proceso, pero non se pode illar completamente. Isto levará a que o baleiro do ambiente de baleiro selado sexa cada vez menor, e o tubo de illamento ao baleiro debilitará gradualmente a capacidade de arrefriamento.

O sistema de bombeo de baleiro dinámico significa que, despois de fabricar e formar a tubaxe, esta segue sendo evacuada na fábrica segundo o proceso de detección de fugas, pero o baleiro non se sela antes da entrega. Unha vez completada a instalación no campo, as capas intermedias de baleiro de todas as tubaxes conectaranse a unha ou máis unidades mediante mangueiras de aceiro inoxidable e usarase unha pequena bomba de baleiro dedicada para baleirar as tubaxes no campo. A bomba de baleiro especial ten un sistema automático para monitorizar o baleiro en calquera momento e baleirar segundo sexa necesario. O sistema funciona as 24 horas do día.

A desvantaxe do sistema de bombeo de baleiro dinámico é que o baleiro debe manterse mediante electricidade.

A vantaxe do sistema de bombeo de baleiro dinámico é que o grao de baleiro é moi estable. Úsase preferentemente en ambientes interiores e con requisitos de rendemento de baleiro de proxectos moi elevados.

O noso sistema dinámico de bombeo de baleiro, toda a bomba de baleiro especial integrada móbil para garantir o equipo para aspirar, deseño cómodo e razoable para garantir o efecto do baleiro, calidade dos accesorios de baleiro para garantir a calidade do baleiro.

Para o proxecto MBE, debido a que o equipo está na sala limpa e o equipo leva funcionando moito tempo, a maior parte do sistema de tubaxes illadas ao baleiro está no espazo pechado na capa intermedia da sala limpa. É imposible implementar o mantemento ao baleiro do sistema de tubaxes no futuro. Isto terá un grave impacto no funcionamento a longo prazo do sistema. Como resultado, o proxecto MBE emprega case todo o sistema de bombeo dinámico ao baleiro.

2

Sistema de alivio de presión

O sistema de alivio de presión da liña principal adopta o grupo de válvulas de alivio de seguridade. O grupo de válvulas de alivio de seguridade utilízase como sistema de protección de seguridade cando as tubaxes VI non se poden axustar durante o uso normal.

A válvula de seguridade é un compoñente clave para garantir que o sistema de tubaxes non sufra sobrepresión e un funcionamento seguro, polo que é esencial no funcionamento da tubaxe. Pero a válvula de seguridade, segundo a normativa, debe enviarse a revisión anualmente. Cando se usa unha válvula de seguridade e a outra está preparada, cando se retira unha válvula de seguridade, a outra válvula de seguridade aínda permanece no sistema de tubaxes para garantir o funcionamento normal da tubaxe.

O grupo de válvulas de seguridade contén dúas válvulas de seguridade DN15, unha para uso e outra para espera. En funcionamento normal, só unha das válvulas de seguridade está conectada ao sistema de tubaxes VI e funciona con normalidade. As outras válvulas de seguridade están desconectadas da tubaxe interior e poden ser substituídas en calquera momento. As dúas válvulas de seguridade están conectadas e cortadas a través do estado de conmutación da válvula lateral.

O grupo de válvulas de seguridade está equipado cun manómetro para comprobar a presión do sistema de tubaxes en calquera momento.

O grupo de válvulas de seguridade está provisto dunha válvula de descarga. Pode usarse para descargar o aire da tubaxe durante a purga e o nitróxeno pode descargarse cando o sistema de nitróxeno líquido está en funcionamento.

dav

Equipos crioxénicos HL

HL Cryogenic Equipment, fundada en 1992, é unha marca afiliada á empresa Chengdu Holy Cryogenic Equipment de China. HL Cryogenic Equipment dedícase ao deseño e fabricación de sistemas de tubaxes crioxénicas illadas en alto baleiro e equipos de apoio relacionados.

No mundo actual, en constante cambio, proporcionar tecnoloxía avanzada e maximizar o aforro de custos para os clientes é unha tarefa complexa. Durante 30 anos, HL Cryogenic Equipment Company, en case todos os equipos e industrias crioxénicas, conta cun coñecemento máis profundo do panorama das aplicacións, acumulou unha rica experiencia e fiabilidade, e explora e esfórzase continuamente por manterse ao día dos últimos desenvolvementos en todos os ámbitos da vida, proporcionando aos clientes solucións novas, prácticas e eficientes, facendo que os nosos clientes sexan máis competitivos no mercado.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Data de publicación: 25 de agosto de 2021

Deixa a túa mensaxe